日本miyuki氣動(dòng)真空蝶閥導(dǎo)電性能強(qiáng)高速排氣 MIYUKI/美幸輝 B/BH系列 特點(diǎn)介紹

01. 氣缸雖小，但打開時(shí)推力加倍（運(yùn)行可靠），并在行程末端提供氣墊效果（緩和沖擊）。

02.全關(guān)時(shí)，閥體密封。

03.安裝姿勢(shì)、方向無限制。

04.表面極薄，具有優(yōu)異的導(dǎo)電性能。

05.在潔凈室中組裝和檢查。

01.閥門開度可在0度至45度和90度（全開）兩種位置操作，因此一個(gè)閥門即可進(jìn)行慢速排氣和高速排氣。

02.除了普通的全閉式和全開式氣缸外，該氣缸為兩級(jí)結(jié)構(gòu)，可在0度至45度范圍內(nèi)任意設(shè)定閥門開度。

03. 氣缸雖小，但打開時(shí)推力加倍（運(yùn)行可靠），并在行程末端提供氣墊效果（緩和沖擊）。

04.全關(guān)時(shí)，閥體密封。

05.安裝姿勢(shì)或方向沒有限制。

06.表面極薄，具有優(yōu)異的導(dǎo)電性能。

07.在潔凈室中組裝和檢查。

日本miyuki氣動(dòng)真空蝶閥導(dǎo)電性能強(qiáng)高速排氣 MIYUKI/美幸輝 B/BH系列 規(guī)格參數(shù)

法蘭型JIS/ISO/KF(西北)/CF 

口徑25A～400A 

泄漏量1×10 -9 Pa?m 3 /s以下 

使用面積10 5 ~10 -5 Pa 

氣體接觸材料SUS304 

盤式密封氟橡膠O型圈 

軸封氟橡膠O型圈 

工作氣壓0.4～0.6MPaG 

打開/關(guān)閉顯示帶微動(dòng)開關(guān)（用于檢測(cè)打開/關(guān)閉位置） 

法蘭型JIS/ISO/KF(西北)/CF 

口徑25A～350A 

泄漏量1×10 -9 Pa?m 3 /s以下 

使用面積10 5 ~10 -5 Pa 

氣體接觸材料SUS304 

盤式密封氟橡膠O型圈 

軸封氟橡膠O型圈 

工作氣壓0.4～0.6MPaG 

打開/關(guān)閉顯示帶微動(dòng)開關(guān)（用于檢測(cè)打開/關(guān)閉位置）