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日本tokyokeiso高精度超聲波流量計控制器 FCA6000系列FC6000是一款采用高精度超聲波流量計作為流量傳感器的分離式流量控制系統(tǒng)。FCA6000系列流量控制器內(nèi)置超聲波流量計轉(zhuǎn)換器,允許您通過組合流量傳感器和控制閥來配置緊湊的系統(tǒng)。
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日本tokyokeiso高精度超聲波流量計控制器 FCA6000系列 特點介紹
FC6000是一款采用高精度超聲波流量計作為流量傳感器的分離式流量控制系統(tǒng)。
FCA6000系列流量控制器內(nèi)置超聲波流量計轉(zhuǎn)換器,允許您通過組合流量傳感器和控制閥來配置緊湊的系統(tǒng)。
通過流量傳感器和控制閥的完整陣容,可以進行大范圍的流量控制。另外,通過將過程連接部分中的流量傳感器/控制閥與測量/控制部分分開,可以提高安全性并且可以實現(xiàn)靈活的布局。
非常適合各種化學(xué)溶液(包括半導(dǎo)體工藝)的高級流量控制。
日本tokyokeiso高精度超聲波流量計控制器 FCA6000系列 規(guī)格參數(shù)
· 提高抗氣泡性和流量測量穩(wěn)定性
對于傳統(tǒng)的超聲波流量計,如果液體中含有氣泡,則超聲波接收靈敏度會降低,從而難以測量流量。FCA6000 系列采用經(jīng)過驗證的信號處理技術(shù),即使在靈敏度降低的情況下也能進行流量測量。此外,根據(jù)豐富的現(xiàn)場經(jīng)驗識別和排除異常輸出,顯著提高了抗氣泡性能。流量測量的穩(wěn)定性也得到了提高。
· 提高安全性并允許自由布局
通過將過程連接處的流量傳感器/控制閥與測量控制部分分開,提高了防止液體泄漏的安全性,并且可以自由選擇布局。
· 可進行大范圍的流量控制
FCA6000 系列可處理的流速從最小 2.5 至 25 mL/min 到最大 1 至 10 L/min。
· 低功耗
FCA6000 系列比傳統(tǒng)轉(zhuǎn)換器消耗更少的電流。
· CE標志
符合 EU EMC、RoHS2 和低電壓指令
(EMC 合規(guī)標準:EN61326-1:2013、EN61326-2-3:2013)
· 高耐腐蝕性
UCUF系列的接液部件采用PFA和PTFE,具有耐腐蝕性,
可用于半導(dǎo)體行業(yè)和處理化學(xué)液體的各種行業(yè)。
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